Комплексные исследования электрофизических свойств термически окисленных слоев кремния в производстве полупроводниковых приборов с проектной нормой 0,5-0,8 мкм
Дудников Анатолий Сергеевич. Комплексные исследования электрофизических свойств термически окисленных слоев кремния в производстве полупроводниковых приборов с проектной нормой 0,5-0,8 мкм : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01.- Москва, 2002.- 113 с.: ил. РГБ ОД, 61 03-5/2457-7
