Введение
Глава 1. Физические процессы старения в оксидных конденсаторах и методы контроля их качества и прогнозирования надежности 19
1.1. Пробой и электрическое старение металлооксидных диэлектрических пленок 19
1.2. Перенос кислорода и электростимулированный рост кристаллов Ta205(Nb205) в конденсаторной системе металл -анодный оксид - электролит. Изотопные исследования 31
1.3. Кинетика электростимулированного роста кристаллов Тг20<, (Nb205) в конденсаторной системе металл - анодный оксид -электролит 40
1.4. Влияние структуры оксида и межфазовой границы раздела металл оксид на кинетику процесса электростимулированного роста кристаллов Таз05 и Nb205 ... 50
1.5. Кинетика процесса развития пробоя аморфных металлооксидных диэлектриков 59
1.6. Процессы электрического старения оксидного диэлектрика и модели прогнозирования долговечности конденсаторов 72
1.7. Возможности прогнозирования показателей надежности оксидных конденсаторов по результатам испытаний в динамических режимах нагружения 82
1.8. Структурно-чувствительные и кинетические свойства и диагностика металлооксидных конденсаторных диэлектриков 87
1.9. Методики определения характеристических параметров кинетики электрического разрушения металлооксидных пленок в рабочей структуре электролитических конденсаторов 99
1.10. Возможности прогнозирования временной стабильности свойств оксидного конденсаторного диэлектрика и отбраковки потенциально ненадежных изделий 105
1.11 Возможности улучшения эксплуатационных свойств конденсаторов с оксидным диэлектриком 113
Выводы 122
Глава 2. Контроль качества фото резисторов по совокупности электрофизических параметров и математическое моделирование их отказов 124
2.1. Определение информативных параметров фоторезисторов для индивидуального прогнозирования их надежности 124
2.2. Экспериментальные исследования оценки качества и прогнозирования надежности по коэффициенту низкочастотного шума 135
2.2.1. Определение рациональных режимов измерения коэффициента низкочастотного шума 135
2.2.2. Выявление потенциально ненадежных фоторезисторов по коэффициенту низкочастотного шума 139
2.2.3. Взаимосвязь низкочастотного шума с дефектами фоторезисторов 142
2.3. Аппаратная реализация метода неразрушающего контроля качества фоторезисторов 148
2.3.1. Принцип измерения уровня низкочастотного шума фоторезисторов 149
2.3.2. Основные технические характеристики измерителя низкочастотных шумов фоторезисторов 150
2.3.3. Структурная схема измерителя низкочастотных шумов фоторезисторов 151
2.4. Анализ качества функционирования фоторезисторов с учетом деградации информативных электрофизических параметров 153
Выводы 168
Глава 3. Методы и средства отбраковки потенциально ненадежных полупроводниковых приборов по шумовым характеристикам при ускоренных испытаниях 170
3.1. Постановка задачи и выбор объекта исследования 170
3.2. Разработка эквивалентной схемы возникновения низкочастотного шума в исследуемом полупроводниковом приборе 173
3.3. Выбор и обоснование метода измерения низкочастотного шума 180
3.4. Моделирование отказов полупроводниковых приборов по электрофизическим параметрам 183
3.4.1. Физическое и математическое моделирование 183
3.4.2. Прогнозирование безотказной работы полупроводниковых приборов при линейном законе деградации электрофизических параметров 187
3.5. Экспериментальное исследование зависимости уровня низкочастотного шума полупроводниковых приборов при ускоренных испытаниях 194
3.5.1. Выбор режимов проведения эксперимента 194
3.5.2. Анализ результатов эксперимента 195
3.5.3. Теоретическая интерпретация результатов эксперимента 205
Выводы 211
Глава 4. Методы и приборы неразрушающе го контроля качества и прогнозирования надежности транзисторов и операционных усилителей по уровню их низкочастотных шумов 213
4.1. Выбор объекта исследования и его характеристика 213
4.2. Разработка физических эквивалентных схем операционных усилителей 223
4.3. Методы и аппаратура для измерения низкочастотных шумов операционных усилителей 245
4.4. Прогнозирование надежности операционных усилителей по уровню их низкочастотных шумов 255
Выводы 277
Заключение 278
Список литературы
