Введение
Глава 1. Литературный обзор 9
1.1. Методы получения и структура аморфного углерода 9
1.2. Роль водорода в аморфном углероде 12
1.3. Модели описания формы края оптического поглощения в аморфном углероде 14
1.4. Оптические свойства аморфного углерода 22
1.5. Влияние легирования на свойства аморфного углерода 24
1.6. Влияние внешнего воздействия на оптические свойства аморфного углерода 27
1.7. Постановка задачи 31
Глава 2. Методики исследования 33
2.1. Методики приготовления образцов 33
2.2. Исследование структуры методом просвечивающей электронной микроскопии 37
2.3. Метод восстановления оптических констант по спектрофотометрическим данным 37
2.3. Методика исследования влияния термического и ультрафиолетового воздействия на оптические свойства аморфного углерода 43
Глава 3. Пленки аморфного углерода, полученные методом магнетронного распыления графита 47
3.1. Оптические свойства аморфного углерода, полученного методом магнетронного распыления графита 47
3.2. Микроструктурные исследования аморфного углерода 52
3.3. Медные нанокластеры в аморфном углероде, легированном медью 61
Глава 4. Влияние ультрафиолетового и термического воздействия на край оптического поглощения аморфного углерода 76
4.1. Исследование влияния ультрафиолетового воздействия на край оптического поглощения 76
4.2. Влияние термического воздействия на край оптического поглощения аморфного углерода 81
Заключение 98
Литература 101
