Введение
Глава 1. Обзор литературы и постановка задачи 19
1.1 Современные одпофотонные детекторы 19
1.2 Однофотонный сверхпроводниковый детектор на основе тонкой пленки NbN 24
1.3 Выбор объекта исследования и постановка задачи 26
Глава 2. Изготовление образцов и методика эксперимента. 28
2.1 Технология изготовления и методы отбора образцов 28
2.2 Описание экспериментальной установки и методики измерений . 37
2.3 Калибровка мощности для определения квантовой эффективности 42
2.4 Особенности методики измерения скорости темпового счета 44
2.5 Выводы 46
Глава 3. Механизм возникновения однофотонного отклика в тонких сверхпроводящих пленках 47
3.1 Формирование и развитие горячего пятна в тонкой сверхпроводящей пленке при поглощении фотона 48
3.2 Однофотонный и многофотонный процессы детектирования тонкой сверхпроводящей пленкой 58
3.3 Выводы 60
Глава 4. Квантовая эффективность сверхпроводникового одно-фотонного детектора 62
4.1 Эффект однофотонного детектирования 63
4.2 Зависимость числа фотоотсчетов от транспортного тока 67
4.3 Зависимость квантовой эффективности от толщины пленки 74
4.4 Выводы 80
Глава 5. Скорость темпового счета и эквивалентная мощность шума 82
5.1 Зависимость скорости темпового счета от транспортного тока. 82
5.2 Эквивалентная мощность шума 89
5.3 Применение 93
5.4 Выводы 98
Заключение 99
Список публикаций автора 103
Литература 108
