Введение
1. Лазерная дифрактометрия 13
1.1. Объекты дифрактометрии, проблема измерения и контроля 14
1.2. Дифракция на плоских экранах; основные свойства
1.2.1. Дифракция Френеля и Фраунгофера 17
1.2.2. Свойства симметрии дифракционной картины 28
1.2.3. Преобразование фурье-спектра в оптическом процессоре 32
1.3. Геометрическая теория дифракции 40
1.4. Контраст дифракционной картины 47
1.5. Анализ дифракционных методов измерения. Структурная схема лазерного дифрактометра 51
Выводы 58
2. Влияние параметров лазерного излучения и оптического фурье - процессора на дифрактометрию микрообъектов 60
2.1 Влияние параметров лазерного излучения 61
2.1.1. Влияние формы волнового фронта на дифракционное распределение...61
2.1.2. Влияние распределения амплитуды поля на дифракционную картину ...72
2.1.3. Влияние когерентности лазерного излучения на дифракционное распределение 80
2.1.4. Влияние модового состава излучения на дифракционное распределение 84
2.2. Влияние оптического фурье - процессора 87
2.2.1.Влияние апертуры фотоприемника 87
2.2.2. Фурье - объектив лазерного дифрактометра 90
Выводы 96
3. Трансляционная симметрия дифракционной картины Фраунгофера 98
3.1.1.Понятие трансляционной симметрии 100
3.1.2. Особенность излучения прямого и обобщенного углов 101
3.1.3. Классификация апертур
3.2. Трансляционная симметрия дифракционной картины от совокупности прямоугольных элементов 106
3.3. Трансляционная симметрия дифракционной картины от апертуры с обобщенными прямыми углами 113
3.3.1. Влияние локального дефекта на структуру дифракционной картины Фраунгофера чечевицеобразной апертуры 118
Выводы 120
4. Дифрактометрия микроотверстия при наличии дефекта контура 121
4.1. Дефекты контура микроотверстия 122
4.2. ГТД модель дифракции на отверстии с дефектом 127
4.3. Дифрактометрия микроотверстия с малым локальным дефектом 131
4.4. Дифрактометрия микроотверстия с дефектом конечного размера
4.4.1. Дифрактометрия микроотверстия с дефектом многогранной формы... 138
4.4.2. Дифрактометрия микроотверстия с дефектом полукруглой формы 147
4.4.3. Измерение характерного размера дефекта 150
4.5. Дифрактометрия микроотверстия с огранкой контура 157
4.5.1. Структура дифракционной картины 157
4.5.2. Измерение степени огранки контура 163
Выводы 164
5. Дифрактометрия характерного размера изделия 166
5.1. Дифрактометрия площади микроотверстия с дефектами контура 167
5.1.1.Измерение характерного размера отверстия при наличии фазовых возмущений в апертуре отверстия 173
5.2. Дифрактометрия среднего размера совокупности длинных протяженных изделий .174
Выводы 180
в. Практическая реализация лазерных дифрактометров и их использование в промышленности и науке 181
6.1 Лазерные дифрактометры 181
6.1.1. Дифракционные измерители диаметра проволоки - ДИД 181
6.1.2. Дифракционный измеритель диаметра сопла -ДИД-7 183
6.1.3. Лазерный телевизионный дифрактометр качества канала волоки 187
6.1.4. Лазерный телевизионный дифрактометр биологических объектов 1 6.2 Практическое использование дифрактометров серии ДИД 191
6.3 Результаты экспериментальных исследований микроотверстий на лазерном телевизионном дифрактометре 195
6.4 Дифрактометрия эритроцитов
6.4.1. Дифрактометрия мазков крови 206
6.4.2. Дифрактометрия эритроцитов в условиях гипотонического гемолиза 211
Выводы 216 Заключение 217
Литература 220
Приложения 231
1. Акты испытаний качества алмазных волок 231
2. Методика контроля качества алмазных волок 251
3. Свидетельство о метрологической аттестации лазерного дафрактометра 253
4. Решение заседания металлургической секции НТС ВНИШШ 255
5. Акты внедрения
