Введение
Глава 2. Генерация дислокаций и разрушение поверхности кремния при воздействии импульсно-периодического излучения YAG:ND лазера 25
2.1. Генерация дислокаций при лазерном воздействии и многоимпульсное лазерное разрушение поверхности кремния (введ. к гл. 2) 25
2.2. Эксперимент. Экспериментальная установка 30
2.3. Исследование разрушения поверхности образцов при лазерном воздействии одиночных импульсов 32
2.4. Экспериментальные результаты полученные при импульсно-периодическом лазерном воздействии в вакууме 38
2.5. Результаты исследования поверхности облученных образцов после обработки в травителе 44
2.6. Интерпретация полученных результатов и оценки размера образующихся дислокаций 47
2.7. Выводы по гл. 2 56
Глава 3. Влияние внешней атмосферы на процессы образования структурных дефектов и разрушения поверхности кремния при лазерном воздействии ... 57
3.1. Диффузия газов в обогащенном дефектами поверхностном слое материала при лазерном воздействии (введ. к гл. 3) 57
3.2. Экспериментальные результаты, полученные при воздействии одиночных лазерных импульсов в на образцы в атмосфере газов 61
3.3. Экспериментальные результаты, полученные при импульсно-периодическом лазерном воздействии на воздухе 70
3.4. Интерпретация наблюдаемых в эксперименте аномальных изменений сигнала рассеяния луча пробного лазера 73
3.5. Выводы по гл. 3 80
Глава 4. Свечение, наблюдаемое при лазерном твердофазном разрушении поверхности кремния... 81
4.1. Эмиссия частиц, сопровождающая начальные стадии разрушения материалов (введ. к гл. 4) 82
4.2. Экспериментальная установка и диагностика свечения при лазерном твердофазном разрушении поверхности кремния 87
4.3. Результаты регистрации свечения в плоскости, касательной к поверхности образца
4.4. Результаты свечения поверхности 94
4.5. Интерпретация наблюдаемых экспериментальных фактов свечения в надповерхностной области образца 95
4.6. Интерпретация зарегистрированного в эксперименте свечения поверхности при воздействии лазерных импульсов 100
4.5. Выводы по гл. 4 102
Заключение 103
Литература 105
