Лазерное нано/микроструктурирование и сверхлегирование примесями серы поверхности кремния
Нгуен Ван Лыонг. Лазерное нано/микроструктурирование и сверхлегирование примесями серы поверхности кремния: диссертация ... кандидата Физико-математических наук: 01.04.05 / Нгуен Ван Лыонг;[Место защиты: ФГБУН Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук], 2018.- 126 с.