Введение
ГЛАВА 1. Обзор литературы по методам лазерного синтеза оксидных пленок 10
1.1. Формирование оксидных пленок на поверхности полупроводников и металлов под действием лазерного излучения, лазерный отжиг, геттерирование, имплантация 10
1.2. Взаимодействие лазерного излучения с веществом, лазерная абляция материалов 14
1.3. Результаты экспериментальных и теоретических исследований лазерной абляции материалов 18
1.4. Технологии синтеза полупроводниковых пленочных материалов с применением лазерной плазмы 32
1.5. Модификация поверхностных свойств материалов при плазменном и ионном воздействии 34
1.6. Выводы из обзора литературы 45
ГЛАВА 2. Эксперименты по исследованию лазерной абляции металлов 48
2.1. Схема экспериментального комплекса, обоснование применяемых методов измерений и технические характеристики приборов 49
2.2. Эксперименты по определению плотности потока энергии на мишенях 53
2.3. Электростатическое зондирование лазерной плазмы Pd и Pt 54
2.4. Определение зависимости абляционных потерь мишеней и толщин пленок на подложках от плотности потока энергии лазерного излучения 62
2.5. Управление структурой и зарядовым составом плазмы 64
2.6. Анализ и интерпретация результатов исследований лазерной абляции металлов 67
ГЛАВА 3. Лазерный синтез металлоксидных нанокристаллических пленок на основе sn02, исследования структуры, состава, морфологии, моделирование профилей распределения легирующих металлов 75
3.1. Лазерный синтез металл оксидных нанокристаллических пленок на основе Sn02 75
3.2. Исследования фазового состава и микроструктуры пленок Sn, Sn02 ..77
3.3. Исследования морфологии пленок Sn02(Pd), Sn02(Pt) 78
3.4. Исследования профилей распределения легирующих металлов по толщине пленок 8пОг(М) 80
3.5. Моделирование процессов имплантации и распределения Pd и Pt в пленках Sn02, Sn02(Cu) 85
ГЛАВА 4. Электрофизические свойства и газочувствительность металлоксидных нанокристаллических пленок 94
4.1. Электрофизические свойства и газочувствительность пленок Sn02, Sn02(Pd) и Sn02(Pd,Cu) 94
4.2. Электрофизические свойства и газочувствительность тонких пленок Sn02, Sn02(Pt) 98
4.3. Анализ и интерпретация результатов исследований электрофизических свойств и газочувствительности пленок Sn02, Sn02(Pd), Sn02(Pd,Cu), Sn02(Pt) 108
Основные результаты и выводы 122
Заключение 124
Список литературы
