Введение
1 Литературный обзор 13
1.1 Тонкие магнитные пленки и их свойства 13
1.1.1 Получение тонких магнитных пленок 14
1.1.2 Формирование тонких пленок 16
1.1.3 Фундаментальные магнитные свойства тонких пленок 18
1.2 Структурное состояние и магнитные свойства аморфных и нанокристаллических сплавов типа Fe-M-Cu-Si-B 21
1.2.1 Формирование нанокристаллической структуры сплава Finemet из аморфного состояния 22
1.2.2 Влияние структурного состояния и химического состава сплавов типа Finemet на магнитные свойства 24
1.2.3 Наведенная магнитная анизотропия в сплавах типа Finemet 26
1.2.4 Случайная магнитная анизотропия в сплавах типа Finemet 28
1.3 Особенности структурного состояния и магнитных свойств тонких пленок аморфных и нанокристаллических сплавов типа Fe-M -Cu-Si-B 30
1.3.1 Процесс кристаллизации тонких пленок сплавов Fe-Cu-M-Si-B 31
1.3.2 Магнитные свойства сплавов Fe-M-Cu-Si-B в тонкопленочном состоянии 32
Выводы по главе 1 35
2 Методика эксперимента и аттестация образцов 37
2.1 Технология получения и контроля структурного состояния образцов тонких пленок 37
2.1.1 Определение толщины тонких пленок 40
2.1.2 Влияние технологического поля при напылении пленок 41
2.1.3 Влияние материала подложки на коэрцитивную силу тонких пленок 42
2.2 Аттестация структурного состояния тонких пленок 44
2.2.1 Методы рентгеноструктурного анализа 44
2.2.2 Методы атомно-силовой и магнитосиловой микроскопии 46
2.3 Анализ соответствия химического состава пленок и исходного сплава 47
2.4 Методы исследования магнитных свойств тонких пленок 49
3 Влияние толщины пленок сплавов Fe-M-Cu-Si-B (M: Nb, W, NbMo) на их магнитные свойства 52
3.1 Влияние толщины на намагниченность насыщения тонких пленок сплава Fe72.5Nb1.5Mo2Cu1.1Si14.2B8.7 52
3.2 Влияние толщины на коэрцитивную силу тонких пленок сплавов Fe72,5Nb1,5Mo2Cu1,1Si14,2B8,7, Fe73,5Nb3Cu1Si13,5B9, Fe73,5W3Cu1Si13,5B9 56
3.2.1 Анализ зависимости коэрцитивной силы от толщины пленки с учетом смены типа доменных стенок 58
3.2.2 Влияние шероховатости на зависимость коэрцитивной силы от толщиныпленок 63
Выводы по главе 3 66
4 Структурная и фазовая трансформация тонких пленок сплавов Fe-M-Cu-Si-B (M: Nb, NbMo, W) в результате термообработки 67
4.1 Структурное состояние тонких пленок и лент сплава Fe73,5Nb3Cu1Si13,5B9 67
4.2 Развитие процесса кристаллизации в тонких пленках сплава Fe72,5Nb1,5Mo2Cu1,1Si14,2B8,7 75
4.2.1 Влияние состава сплава на структуру тонких пленок и ее трансформацию под действием температуры 75
4.2.2 Кинетика кристаллизации тонких пленок сплава Fe72,5Nb1,5Mo2Cu1,1Si14,2B8,7 78
4.2.3 Влияние термообработки на структуру поверхности тонких пленок сплава Fe72,5Nb1,5Mo2Cu1,1Si14,2B8,7 85
Выводы по главе 4 93
5 Магнитная анизотропия тонких пленок Fe-M-Cu -Si-B (M: Nb, NbMo, W) 94
5.1 Наведенная магнитная анизотропия тонких пленок сплавов Fe-Cu-M-Si-B (M: Nb, NbMo, W) 95
5.1.1 Наведенная магнитная анизотропия тонких пленок сплавов Fe-M-Cu-Si-B (M: Nb, W, NbMo) в состоянии после получения 95
5.1.2 Влияние термообработки на наведенную магнитную анизотропию тонких пленок сплавов Fe-M-Cu-Si-B (M: Nb, W, NbMo) 101
5.2 Анализ структурного состояния и магнитной микроструктуры пленок сплава Fe73,5Nb3Cu1Si13,5B9 методом корреляционной магнитометрии 113
5.2.1 Исследование локальной магнитной анизотропии тонких пленок сплава Fe73,5Nb3Cu1Si13,5B9 с помощью закона приближения намагниченности к насыщению 114
5.2.2 Экспериментальное наблюдение корреляций намагниченности в тонких пленках сплава Fe73,5Nb3Cu1Si13,5B9 128
Выводы по главе 5 133
Заключение 134
Список сокращений и условных обозначений 138
Список литературы 139
Список публикаций автора 160
Благодарности 165
