Введение
1. Литературный обзор 12
1.1. Спинтроника. Магнитные туннельные переходы 12
1.2. Поиск материалов 17
1.1.2. Туннельный изолятор 17
1.1.2. Ферромагнитный электрод Fe3Si 20
1.2.2. Ферромагнитный электрод Fe304 28
2. Методики синтеза и анализа структур 34
2.1. Методики роста тонкопленочных наноразмерных слоев и структур 34
2.1.1. Метод импульсного лазерного осаждения 36
2.1.2. Исследовательский комплекс ИЛО-РФЭС-СРМИXSAM800 39
2.2. Методики анализа структурных и химических свойств 42
2.2.1 Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС) 43
2.2.2. Спектроскопия рассеяния медленных электронов 46
2.2.3. Оже-электронная спектроскопия 49
2.2.4. Резерфордовское обратное рассеяние (POP) 52
2.2.5. Атомно-силовая микроскопия 54
2.3. Методики исследования магнитных свойств и фазового состава 56
2.3.1. Мёссбауэровская спектроскопия конверсионных электронов 56
2.3.2. Спектроскопия комбинационного рассеяния 58
2.3.3. Вибрационная магнитометрия 62
2.3.4. Ферромагнитный резонанс 64
3. Формирование и исследование функциональных слоев ФМ и ФМ/И 68
3.1. Ферромагнитный силицид железа Fe3Si 68
3.1.1. Твердофазная реакция Fe-Si в системе Fe3Si/Si02 69
3.1.2. Метод соосаждения Fe и Si. Синтез Fe3Si из сплавной стехиометричной мишени Fe3Si 77
3.1.3. Магнитные свойства тонкопленочных слоев Fe3Si 82
3.2. Ферромагнитный оксид железа FeOy 85
3.2.1. Тонкопленочные слои Fe304 85
3.2.2. Бислойная структура Fe/Fe304 90
4. Изолирующие слои Si02 и MgO 106
4.1. Формирование сверхтонких слоев MgO 106
4.2. Формирование сверхтонких слоев SiC>2 113
5. Многослойные структуры ФМ-И-ФМ на основе FeSix и FeOy 116
5.1. Поликристаллическая структура Fe/Fe304/MgO/Fe3Si 116
5.2. Трёхслойная структура FeOx/MgO/FeSix : 121
5.3. Обсуждение результатов 124
Заключение 128
Список литературы 130
