Введение
Глава 1 Обзор литературы 10
1.1 Тонкие ферромагнитные пленки, полученные осаждением на текстурированные подложки 10
1.2 Наклонно-осаждённые тонкие ферромагнитные пленки 19
1.3 Выводы 27
Глава 2 Экспериментальные и численные методы исследования тонких ферромагнитных пленок 28
2.1 Явление ферромагнитного резонанса 28
2.2 Сканирующий спектрометр ферромагнитного резонанса 31
2.3 Метод определения эффективных магнитных параметров тонких пленок из ФМР измерений 34
2.4 Микромагнитное моделирование 38
2.5 Выводы 44
Глава 3 Магнитные свойства тонких пленок пермаллоя, осажденных на текстурированные стеклянные подложки 46
3.1 Изготовление образцов и их морфология 46
3.2 Магнитные характеристики пленок, осажденных на текстурированные подложки50
3.3 Микромагнитное моделирование 53
3.4 Анализ свойств тонкой магнитной пленки с периодически модулированной поверхностью на основе теории двухмагнонных процессов релаксации 58
3.5 Выводы 64
Глава 4 Моделирование процессов роста тонких наклонно-осажденных пленок. Микромагнитный и микроструктурный анализ их свойств 65
4.1 Экспериментальное исследование тонких наклонно-осажденных пленок пермаллоя
4.2 Моделирование процесса роста тонкой пленки 68
4.3 Морфология полученных моделированием пленочных структур 71
4.4 Микромагнитный анализ полученных моделированием наклонного осаждения структур 4.4.1 Магнитная анизотропия 79
4.4.2 Модифицированный подход Нетзельмана для определения параметров размагничивания отдельных столбцов наклонно-осажденных пленок 82
4.4.3 Процессы перемагничивания 86
4.5 Выводы 89
Глава 5 Магнитные характеристики пленок пермаллоя, изготовленных при небольшом отклонении потока осаждаемых атомов от нормали к подложкам 91
5.1 Исследование серий наклонно-осажденных пленок методом локального ферромагнитного резонанса 91
5.2 Эффект компенсации наведенной одноосной магнитной анизотропии в наклонно-осажденных пленках пермаллоя
5.2.1 Постановка и описание эксперимента 98
5.2.2 Исследование образца методом ФМР и анализ экспериментальных данных 99
5.2.3 Микромагнитный анализ модели пленки, состоящей из двух обменносвязанных слоев с различными параметрами магнитной анизотропии 103
5.3 Выводы 106
Заключение 108
Приложение A 110
Приложение Б 112
Список литературы
