Введение
1. Основные сведения о многоканальных оптических спектрометрах 13
1.1. Оптические схемы спектрометров с дифракционной решеткой 13
1.1.1. Дифракционные решетки «эшелетт» 13
1.1.2. Оптические схемы малогабаритных спектрометров с вогнутой дифракционной решеткой 18
1.1.3. Оптические схемы малогабаритных спектрометров с плоской дифракционной решеткой 24
1.2. Многоканальные фотоприемники излучения, используемые в спектрометрах 30
2. Исследование оптической схемы черни-тернера 37
2.1. Форма фокальной поверхности в схеме Черни-Тернера 37
2.2. Выбор рабочего порядка спектра 41
2.3. Аберрации схемы Черни-Тернера 44
2.4. Влияние наклонов входной щели и заштрихованной области дифракционной решетки на регистрируемый спектр 53
3. Контроль квантовой эффективности кремниевых линеек фотодиодов 58
3.1. Методика и установка для измерения квантовой эффективности 59
3.2 Результаты измерения квантовой эффективности линейных фотоприемников 66
4. Разработка конструкции и исследование характеристик малогабаритного спектрометра 77
4.1. Снижение уровня фонового излучения 78
4.2. Выбор рабочего спектрального интервала 80
4.3 Конструкция спектрометра 82
4.4. Экспериментальное исследование характеристик спектрометра . 85
4.4.1. Форма фокальной поверхности 85
4.4.2. Спектральное разрешение 86
4.4.4. Уровень фонового излучения 90
4.4.5. Сравнение дифракционных решеток 91
5. Исследование эффективности применения созданного спектрометра 96
5.1. Одновременное определение щелочных и щелочноземельных металлов методом пламенной фотометрии 96
5.2. Расширение спектрального диапазона существующих комплексов для атомно-эмиссионного спектрального анализа 99
5.3. Контроль напыления многослойных покрытий 103
Заключение 107
Список использованных источников 110
