Математические модели процессов формирования наноразмерных пленок
Чу Чонг Шы. Математические модели процессов формирования наноразмерных пленок: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.13.18 / Чу Чонг Шы;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»], 2019