Математические модели термостабилизации полупроводниковых пластин газовой прослойкой для синтеза устройств в линиях фотолитографии
Коваленко Владислав Борисович. Математические модели термостабилизации полупроводниковых пластин газовой прослойкой для синтеза устройств в линиях фотолитографии : диссертация ... кандидата технических наук : 05.13.18.- Воронеж, 2001.- 233 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/400-X