Математическое моделирование технологических процессов : На примере автоэпитаксии кремния
Матюшкин Игорь Валерьевич. Математическое моделирование технологических процессов : На примере автоэпитаксии кремния : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 05.13.18.- Долгопрудный, 2000.- 122 с.: ил. РГБ ОД, 61 01-1/348-7