Введение
1. Анализ современного состояния и проблем в области создания датчиков давления 12
1.1 Обзор датчиков давления ведущих мировых производителей 15
1.2 Экспериментальные методы исследования поверхности тонких плёнок НиМЭМС датчиков давления 19
1.3 Теоретические подходы к проблеме моделирования роста поверхности тонких плёнок 28
1.4 Аналитические и численные методы моделирования упругих элементов НиМЭМС датчиков давления 40
1.5 Формулировка задач исследования 45
1.6 Результаты и выводы по разделу 46
2. Математическое моделирование роста поверхности тонких плёнок 48
2.1 Анализ модели случайного осаждения 49
2.2 Модель роста тонких плёнок, учитывающая поверхностную диффузию 52
2.3 Численный анализ результатов моделирования
2.4 Исследование влияния температуры подложки и скорости осаждения 61
2.5 Результаты и выводы по разделу 66
3. Сопоставление результатов моделирования с экспериментальными данными 68
3.1 Параметры, характеризующие морфологию поверхности 68
3.2 Численный анализ экспериментальных данных АСМ-микроскопии образцов никеля и хрома 3.3 Сопоставление данных с результатами математического моделирования 78
3.4 Результаты и выводы по разделу 81
4. Моделирование воздействия давления и температур на упругие элементы НиМЭМС датчиков давления 83
4.1 Метод конечных элементов 84
4.2 Моделирование деформаций упругих элементов НиМЭМС датчиков под действием измеряемого давления 89
4.3 Моделирование воздействия нестационарных температур на НиМЭМС датчиков давления 105
4.4 Результаты и выводы по разделу 113
Заключение 116
Список литературы
