Введение
ГЛАВА 1. Обзор литературы 21
1.1. Экспериментальные и теоретические исследования ВЧЕ-разря дов 21
1.2. Обзор работ по математическому моделированию явлений в электрических разрядах (гидродинамическое, статистическое, гибридное моделирование)
1.3. Выводы по первой главе 43
ГЛАВА 2. Численное моделирование ВЧЕ-разряда в аргоне при пониженных давлениях (нелокальное приближение) 44
2.1. Постановка задачи моделирования ВЧЕ-разряда в нелокальном приближении при пониженных давлениях 46
2.2. Обзор численных методов решения задач, входящих в постановку модели ВЧЕ-разряда 52
2.3.Численный алгоритм решения задачи 60
2.4. Разностная схема для уравнения конвекции-диффузии атомарных ионов. 62
2.5. Разностная схема для уравнения конвекции–диффузии электронного газа 67
2.6. Вычисление плотности потоков заряженных частиц 68
2.7. Разностные схемы для уравнения Пуассона, уравнения баланса концентрации метастабильных атомов, задачи теплопроводности атом но-ионной температуры
2.8. Разностная схема для уравнения теплопроводности электронной температуры 72
2.9. Пакет программ расчета параметров ВЧЕ-разряда при пониженном давлении. 73
2.10. Результаты численного решения и их анализ 74
2.11. Выводы по второй главе. 78
ГЛАВА 3. Численное моделирование ВЧЕ-разряда в аргоне при по вышенных давлениях (локальное приближение) 80
3.1. Постановка задачи моделирования ВЧЕ-разряда в локальном приближении (атмосферное давление) 81
3.2. Численный алгоритм решения 87
3.3. Разностные схемы для краевых и начально-краевых задач и задач Коши, входящих в систему . 89
3.4. Результаты численного решения модельных задач и их анализ. 94
3.5. Результаты и выводы по третьей главе 98
Заключение 99
Список литературы
