Механизм и условия формирования скрытых слоев монокристаллической фазы дисилицида кобальта в кремнии в процессе ионно-лучевого синтеза
Боженов Александр Вячеславович. Механизм и условия формирования скрытых слоев монокристаллической фазы дисилицида кобальта в кремнии в процессе ионно-лучевого синтеза : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10.- Москва, 2001.- 200 с.: ил. РГБ ОД, 61 01-1/795-4