Механизм образования пор в Si n- и р-типов проводимости при его электрохимическом травлении в растворах фтористоводородной кислоты
Абрамова Елена Николаевна. Механизм образования пор в Si n- и р-типов проводимости при его электрохимическом травлении в растворах фтористоводородной кислоты: диссертация ... кандидата Химических наук: 02.00.04 / Абрамова Елена Николаевна;[Место защиты: ФГБОУ ВО «МИРЭА - Российский технологический университет»], 2019.- 198 с.
