Введение
Глава 1. Литературный обзор
1.1 Получение пористого кремния 10
1.2 Механизмы образования структурных особенностей пористого кремния 15
1.3 Механизмы окисления и роль оксида кремния в фотолюминесценции пористого кремния 19
1.4 Количественный оже-анализ химического состава твердых тел 26
1.5 Состав и строение a-SIOx 37
1.6 Анализ моделей фотолюминесценции пористого кремния 41
1.7 Влияние на фотолюминесценцию пористого кремния лазерного облучения 51
Глава 2. Методика эксперимента 55
Глава 3. Количественный оже-анализ пористых полупроводникых материалов, содержащих элементный и окисленный кремний 64
Глава 4. Неразрушающий анализ стехиометрии окисленной поверхности пористого кремния 83
Глава 5. Модификация свойств пористого кремния в процессе водного дотравливания 91
5.1 Механизмы водного дотравливания пористого кремния п-типа проводимости во внешнем электрическом поле 91
5.2 Изменение оптических свойств и состава поверхности пористого кремния в процессе водного дотравливания 106
Литература
