Введение
ГЛАВА 1. Методы синтеза слоев ZnO 10
1.1. Проблемы синтеза слоев оксида цинка 10
1.2. Газофазные методы синтеза слоев ZnO 14
1.3. Синтез слоев ZnO методом лазерного распыления 24
1.4. Синтез слоев ZnO методом магнетронного распыления 29
1.5. Пиролитические методы формирования слоев ZnO 41
1.6. Механизмы формирования нанообъектов на основе ZnO 46
ГЛАВА 2. Исследование влияния состава потока реагентов на механизмы роста слоев ZnO 52
2.1. Синтез слоев методом dc магнетронного распыления 52
2.1.1. Реактивное распыление мишени Zn в смеси Аг-Ог 52
2.1.2. Реактивное распыление мишени Zn в атмосфере СОг 58
2.1.3. Механизм распыления мишеней при dc магнетронном распылении 62
2.2. Синтез слоев методом лазерного распыления 67
2.3. Исследование механизмов формирования столбчатой структуры в слоях ZnO 73
2.3.1. Формирование катодного депозита ZnO со столбчатой структурой при электродуговом распылении керамики ZnO 73
2.3.2. Механизмы роста столбчатых структур в слоях ZnO, синтезированных методом dc магнетронного распыления 77
ГЛАВА 3. Механизмы роста прозрачных проводящих слоев на основе ZnO 84
3.1. Влияние алюминия на структурные, электрические и оптические свойства слоев ZnO:Al 84
3.1.1. Исследование физических свойств слоев ZnO:Al, синтезированных методом dc магнетронного распыления 85
3.1.2. Исследование физических свойств слоев ZnO:Al, синтезированных методом спрей-пиролиза 91
3.2. Синтез прозрачных проводящих слоев на основе ZnO, легированного галлием 96
3.2.1. Синтез керамических мишеней для dc магнетронного распыления... 97
3.2.2. Исследование физических свойств прозрачных проводящих слоев ZnO:Ga и ZnO:Ga:B 100
ГЛАВА 4. Синтез вискеров, сложных агрегатов и слоев ZnO по механизму «пар-жидкость-кристалл» 112
4.1. Формирование вискеров и сложных агрегатов ZnO в системе «цинк-кислород» 112
4.1.1. Рост вискеров при окислении слоев Zn 112
4.1.2. Синтез вискеров и полых дендритных структур в системе ZnO - С 115
4.1.3. Рост сложных агрегатов ZnO в газовой фазе из паров и капель цинка ... 122
4.2. Синтез слоев ZnO в условиях избытка паров цинка 128
Заключение 133
Литература 135
