Механизмы влияния ионной имплантации кремния, германия и фтора на свойства композиций SiO2/Si при воздействии ионизирующего излучения
Гуськова, Ольга Павловна. Механизмы влияния ионной имплантации кремния, германия и фтора на свойства композиций SiO2/Si при воздействии ионизирующего излучения : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.07 / Гуськова Ольга Павловна; [Место защиты: Нижегор. гос. ун-т им. Н.И. Лобачевского].- Нижний Новгород, 2013.- 148 с.: ил. РГБ ОД, 61 14-1/384
