Введение
ГЛАВА 1 Анализ методов измерения чистоты поверхности подложек 10
1.1 Образование поверхности 10
1.2 Анализ структуры молекулы органического загрязнения 13
1.3 Оптические методы 17
1.4 Методы сканирующей зондовой микроскопии 22
1.5 Методы трибометрии 24
Выводы 29
ГЛАВА 2 Моделирование механизмов трибометрического взаимодействия поверхностей подложек 31
2.1 Исследование механизма точечного взаимодействия подложек 32
2.2 Аналитическое описание механизма взаимодействия зонда-индентора с исследуемой поверхностью 36
2.3 Экспериментальное определение параметров шероховатости и упругости поверхностей 41
2.4 Анализ физико-математической модели взаимодействия поверхностей 46
Выводы 49
ГЛАВА 3 Методика приготовления исследуемых образцов 51
3.1 Методика формирования поверхностей с заданной степенью загрязнения... 51
3.2 Методика оценки концентрации молекулярных загрязнений по картам латеральных сил 54
Выводы 62
ГЛАВА 4 Разработка трибометрического устройства для экспериментальной оценки концентрации органических загрязнений на поверхности подложек диоксида кремния . 63
4.1 Устройство для экспериментального исследования трибометрического взаимодействия поверхностей 63
4.1.1 Схема конструкции трибометрического устройства 63
4.1.2 Электрическая схема устройства 69
4.1.3 Программное обеспечение трибометрического устройства
4.2 Оценка погрешности определения концентрации органических загрязнений 76
4.3 Анализ экспериментальных результатов 84
4.4 Методика определения концентрации органических загрязнений с помощью трибометрического устройства 87
Выводы 88
Заключение 90
Список используемых источников 92
