Введение
Глава 1. Анализ источников по тематике электростатического разряда и измерения характеристик электростатических полей 13
1.1. Введение 13
1.2. Понятие электростатического поля и заряда 14
1.3. Методы испытаний и модели воздействия ЭСР на РЭА 16
1.4. Методы защиты электронных компонентов от влияния статического электричества 24
1.5. Вопросы моделирования процесса ЭСР 29
1.6. Моделирование элемента защиты от ЭСР 30
1.7. Методы измерения характеристик электростатических полей 32
1.8. Методы калибровки измерителей напряжённости электростатического поля и электростатического потенциала 40
1.9. Цель и задачи работы 43
Глава 2. Разработка метода моделирования CBM ЭСР . 45
2.1. Введение 45
2.2. Анализ эквивалентных схем воздействия CDM и ЭСР на электронный компонент 47
2.3. Разработка метода измерения емкостей, входящих в модель ЭСР при помощи электрометра 53
2.4. Разработка схемотехнической модели воздействия HBM и CDM ЭСР на полевой транзистор с изолированным затвором . 55
2.5. Модель воздействия CBM ЭСР на полевой транзистор с изолированным затвором 60
2.6. Разработка схемотехнической модели воздействия CDM ЭСР на корпус интегральной микросхемы 67
2.7. Разработка приближённого метода расчёта перенапряжений на затворе МДП-транзистора при ЭСР 74
2.8. Выводы 77
Глава 3. Разработка метода и аппаратуры для контроля электростатического потенциала 80
3.1. Введение 80
3.2. Исследование характеристик электронной лампы в обращён-ном режиме 82
3.3. Разработка схемотехники электрометров на основе ламп в об-ращённом режиме 91
3.4. Разработка метода и аппаратуры для контроля электростатического потенциала с применением электрометра и емкостного делителя 96
3.5. Выводы 100
Глава 4. Экспериментальное исследование разработанных методов 102
4.1. Введение 102
4.2. Исследование модели воздействия ЭСР на печатные узлы 103
4.3. Программа ESD-MOSFET-calc для приближённого расчёта порога отказа МДП-транзисторов при воздействии ЭСР 109
4.4. Экспериментальная проверка методик контроля электростатического потенциала в условиях приборостроительного предприятия 111
4.5. Применение разработанного электрометра для исследования электризации кабелей 120
4.6. Выводы 133
Заключение 135
Литература 141
