Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов
Шевчук Сергей Леонидович. Метод реактивного ионно-лучевого синтеза тонких пленок непосредственно из пучков ионов : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01 : Москва, 2002 161 c. РГБ ОД, 61:03-5/11-2