Введение
ГЛАВА 1. Формирование наноструктур посредством сканирующих зондовых микроскопов, механизмы локального оксидирования . 10
1.1 Методы локального оксидирования с помощью СЗМ 13
1.1.1. Локальное оксидирование с помощью СТМ 15
1.1.2. Локальное оксидирование с помощью АСМ 16
1.1.2.1. Локальное оксидирование с помощью ПКАСМ 18
1.2. Материалы для локального оксидирования с помощью АСМ 18
1.3. Факторы процесса локального оксидирования 21
1.3.1. Потенциал зонда 21
1.3.2. Время экспонирования 22
1.3.3. Влажность окружающей среды 24
1.3.4. Покрытие иглы зонда 25
1.3.5. Усилие зонда КАСМ 27
1.3.6. Амплитуда колебаний зонда ПКАСМ 27
1.3.7. Норма роста оксида 28
1.4. Преимущества и ограничения методов локального оксидирования с помощью СЗМ 28
1.4.1. СТМ-оксидирование 29
1.4.2. АСМ-оксидирование 31
1.4.2.1. Контактный режим 32
1.4.2.2. Полуконтактный режим 32
1.4.3. Рабочая атмосфера модификации 33
1.4.4. Перспективы развития методов СЗМ-оксидирования 33
1.5. Механизм локального оксидирования 34
1.5.1. Потенциал зондов относительно поверхности образца 34
1.5.2. Пороговое время пассивации поверхности 35
1.5.3. Свидетельства электрохимической природы формирования оксидов с помощью СЗМ 36
1.5.4. Химические реакции локального оксидирования 37
1.6. Физические ограничения метода локального оксидирования 37
ГЛАВА 2. Методика проведения экспериментов 40
2.1. Экспериментальная установка локального оксидирования 40
2.2. Методика локального оксидирования INGAAS 43
2.2.1. Контактный АСМ 43
2.2.2. Полуконтактный АСМ 44
2.3. Методика макрооксидирования поверхности n-ingaas в гликоль-водном растворе для анодизации (АГВ) 46
ГЛАВА 3. Экспериментальные результаты по локальному оксидированию N-INGAAS 47
3.1. Введение 47
3.2. Описание эксперимента 48
3.3. Результаты и обсуждения 49
3.3.1. АСМ-оксидирование в контактном режиме 49
3.3.2. АСМ-оксидирование в полуконтактном режиме 62
3.3.3. Травление оксидных линий в растворе HF 64
3.4. Выводы 68
ГЛАВА 4. Исследование механизмов и значимых факторов локального оксидирования 69
4.1. Введение 69
4.2. Описание эксперимента 75
4.3. Результаты и обсуждение 76
4.3.1. Результаты по АСМ-оксидированию и травлению 76
4.3.2. Обсуждение механизма оксидирования 91
4.3.3. Макрооксидирование в растворе АГВ при освещении образца 94
4.3.4. Воспроизводимость процесса АСМ-оксидирования 96
4.4. Выводы 100
5. Основные результаты и выводы 101
6. Список литературы 104
