Введение
Глава 1 Источники влаги в корпусах интегральных схем и методы контроля 8
1.1 Источники влаги в корпусах интегральных схем 8
1.1.1 Внутренние источники влаги в ИС 9
1.1.2 Внешние источники влаги в ИС 11
1.1.3 Технология герметизации и содержание влаги внутри корпусов ИС 15
1.1.4 Способы снижения влажности в объеме корпуса ИС 19
1.2 Методы контроля содержания влаги внутри корпусов ИС 23
1.2.1 Разрушающие методы определения влажности внутри корпуса ИС 24
1.2.2 Неразрушающие методы измерения влажности в корпусах ИС 29
Выводы к главе 1 36
Глава 2 Микроэлектронный датчик влажности поверхностно конденсационного типа 37
2.1 Конструкция датчика влажности 38
2.2 Технология изготовления 44
2.3 Градуировка резисторов и диодов датчиков влажности 48
2.3.1 Градуировка резисторов 48
2.3.2 Градуировка диодов 51
2.4 Контроль измерений по 1ут 55
Выводы к главе 2 60
3 Разработка неразрушающих методов контроля влаги в подкорпусном объеме ИС 61
3.1 Определение количества влаги в подкорпусном объеме ИС типа 1564ИП7 и 1564ЛИ1 по влагозависимым параметрам 61
3.2 Способ контроля содержания влажности в подкорпусном объеме ИС 71
3.3 Метод выявления загрязнений кристаллов различных типов ИС 74
Выводы к главе 3 80
Основные результаты и выводы 81
Список литературы 82
Приложение А 89
