Методы получения и характеристики полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств микромеханики на их основе
Корпухин, Андрей Сергеевич. Методы получения и характеристики полиимид - кремниевых микроактюаторов и устройств микромеханики на их основе : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.01 / Корпухин Андрей Сергеевич; [Место защиты: Нац. исслед. ун-т МЭИ].- Москва, 2012.- 129 с.: ил. РГБ ОД, 61 13-5/373