Введение
ГЛАВА 1. Разработка и исследование метода изготовления кремниевых бинарных дифракционныхоптических элементов терагерцового диапазона 17
1.1 Обзор существующих процессов анизотропного травления кремния 17
1.2 Разработка метода изготовления кремниевых дифракционных оптических элементов 25
Выводы к первой Главе 30
ГЛАВА 2. Создание и исследование силовых бинарных кремниевых дифракционных линз, делителей пучка 31
2.1 Исследование бинарных дифракционных линз 33
2.2 Исследование бинарных дифракционных делителей пучка
Выводы к второй Главе 39
ГЛАВА 3. Фокусировка тгц излучения в заданные двух- и трехмерные области 40
3.1 Создание и исследование фокусатора гауссова пучка в квадрат 40
3.2 Фокусировка ТГц излучения в область в форме соосного отрезка 45
Выводы к третьей Главе 52
ГЛАВА 4. Создание и исследование элементов кремниевой дифракционной оптики для управления поперечно-модовым составом мощных терагерцовых пучков 53
4.1 Создание и исследование элементов кремниевой бинарной оптики, формирующих терагерцовые лазерные пучки c заданным поперечно-модовым составом 53
4.2 Создание и иccледование ДОЭ, формирующих терагерцовые пучки с топологическим зарядом 65
4.3 Генерация поверхностных плазмон-поляритонов с помощью закрученных пучков 80
Выводы к четвертой Главе 84
Заключение 85
Список литературы: 86
