Введение
Глава 1. Оптические схемы интерферометров и источники погрешностей интерференционных измерений 6
1.1 Оптические схемы интерферометров для контроля формы поверхности оптических деталей 6
1.2 Источники погрешностей интерференционных измерений и методы их устранения 13
1.2.1 Систематические погрешности интерференционных измерений 17
1.2.2 Случайные погрешности интерференционных измерений 37
1.3 Выводы 40
Глава 2. Технические методы коррекции погрешностей 42
2.1 Регулировка равномерной освещенности интерференционной картины 43
2.2 Коррекция остаточной аберрации освещающей ветви интерферометра 58
23 Регулировка контраста интерференционной картины 64
2.4 Формирование специальной выборки интерферограмм 73
2.5 Выводы 81
Глава 3. Конструктивные элементы оптической схемы универсального интерферометра 82
3.1 Комплект сменных фокусирующих объективов 83
3.2 Особенности конструирования оптической схемы интерферометра для контроля крупногабаритных деталей 87
3.3 Выводы 97
Заключение 98
Литература
