Микроакселерометр на поверхностных акустических волнах с кольцевым резонатором на анизотропном материале
Хиврич Мария Александровна. Микроакселерометр на поверхностных акустических волнах с кольцевым резонатором на анизотропном материале: диссертация ... кандидата Технических наук: 05.11.03 / Хиврич Мария Александровна;[Место защиты: ФГАОУ ВО «Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет «ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)»], 2020
