Введение
1. Проблема характеризации поверхностей тонких плёнок на основе оксидов со структурой перовскита в свете развития технологии их получения 14
1.1. Тонкие плёнки. Классификация методов их получения 15
1.2. Элементный состав и физические свойства тонкихплёнок 20
1.3. Проблема определения элементного состава и морфологии в методе высокочастотного распыления в атмосфере кислорода при высоких давлениях 24
1.4. Современная схема рентгенофлуоресцентного анализа 29
1.5. Рентгенофлуоресцентный анализ при скользящих углах падения 31
1.6. Рентгенофлуоресцентный анализ при полном внешнем отражении (РФАПВО) 37
1.7. Вклад шероховатости в процесс формирования интенсивности в РФА 39
1.8. Тонкие плёнки на основе Ba-Sr-Ti-O (БСТ) 40
1.9. Тонкие плёнок на основе Pb-Zr-Ti-O (ЦТС) 41
1.10. Тонкие плёнки на основе Bi-Nd-Fe-O (ФВ) 44
1.11. Выводы из первой главы 46
2. Методы рентгеноспектрального исследования тонких плёнок .47
2.1. Устройство спектрометра РФС-001 48
2.2. Оптимизация геометрии спектрометра РФС-001 51
2.3. Оценка элементной чувствительности спектрометра «РФС-001» 52
2.4. Оценка метрологических характеристик спектрометра РФС-001 57
2.5. Анализ влияния параметров математической обработки на результаты, полученные методом РФА ПВО 59
2.6. Результаты апробации спектрометра 62
2.7. Учёт особенностей в математическом моделировании процессов, происходящих в РФА при скользящих углах 64
2.8. Выводы из второй главы 67
3. Исследование тонких плёнок Ba-Sr-Ti-O на грани (001) LaA103 70
3.1. Анализ интенсивностей аналитических линий в спектрах плёнок БСТ и подложек ЬаАЮз 70
3.2. Влияние шероховатости на интенсивность рассеянной линии МоКа и характеристических линий подложки LaA103 и плёнки БСТ 76
3.3. Результаты регистрации упруго рассеянной линии МоКа от серии тонких плёнок БСТ на кристаллических подложках ЬаАЮз 84
3.4. Выводы из третьей главы 87
4. Исследование тонких плёнок Bi-Nd-Fe-O на грани (0001) А1203 91
4.1.Экспериментальное исследование тонких плёнок ФВ 92
4.2. Выводы четвёртой главы 98
5. Экспериментальное исследование образования ЦТС плёнок на поликристаллических подложках нержавеющей стали в ар РФА ПВО схеме 100
5.1. Азимутальное сканирование при РФА ПВО (ар РФА ПВО) 102
5.2. Апробация азимутального сканирования при РФА ПВО (ар РФА ПВО) 105
5.3. Результаты регистрации FeKa от стальной подложки 108
5.4. Результаты сканирования поверхностей подложек с тонкой плёнкой ЦТС на подложках и нержавеющей стали относительно пучка первичного излучения 110
5.5. Выводы пятой главы 116
Заключение 123
Список использованной литературы 124
Основные публикации по теме диссертации 138
