ОГЛАВЛЕНИЕ
Введение ........................................................................................................................... 4
Методология и методы исследования. Структурные исследования...................... 7
Структура и объем работы. ........................................................................................ 8
Глава 1. Тонкие пленки цирконата-титаната свинца: фазовое состояние,
особенности микроструктуры и физических свойств ................................................. 9
1.1 Твердые растворы ЦТС, фазовая диаграмма, области практического
использования .............................................................................................................. 9
1.2 О преимуществах и недостатках тонких пленок ЦТС по сравнению с их
объемными аналогами .............................................................................................. 14
1.3 Проблемы микронеоднородности состава ....................................................... 15
1.4 Роль механических напряжений в процессе кристаллизации тонких пленок
..................................................................................................................................... 16
1.5 Развитие представлений о морфотропной фазовой границе в твердых
растворах ЦТС ........................................................................................................... 20
1.6 Самополяризация в тонких пленках ЦТС ........................................................ 24
1.7 Сферолитовые кристаллические образования в тонких пленках .................. 28
Глава 2. Методы формирования тонкопленочных конденсаторных структур ЦТС.
Методы исследования микроструктуры и электрофизических свойств ................. 34
2.1. Изготовление образцов ...................................................................................... 34
2.2. Методы исследования структуры ..................................................................... 36
2.2.1. Метод рентгеновской дифракции .............................................................. 36
2.2.2. Метод растровой электронной микроскопии ........................................... 38
2.2.3. Метод дифракции обратно рассеянных электронов ................................ 41
2.2.4. Изготовление поперечных проб тонких пленок ЦТС ............................. 56
2.3. Методы оценки электрофизических свойств тонких пленок ЦТС ............... 57
2.3.1 Методы исследования морфологии и локальных пьезоэлектрических
свойств тонких пленок ЦТС ................................................................................. 57
2.3.2. Исследование диэлектрических свойств .................................................. 60
3
Глава 3. Кристаллическая структура и микроструктура сферолитовых островковых и сплошных тонких пленок ЦТС ................................................................................. 62
3.1. Особенности кристаллизации сферолитовых островковых и сплошных тонких пленок ЦТС, сформированных при различных расстояниях мишень-подложка .................................................................................................................... 62
3.2. Локальный структурный анализ сплошных (блочных) перовскитовых тонких пленок ЦТС ................................................................................................................ 66
3.3. Локальный структурный анализ островковых перовскитовых тонких пленок ЦТС, сформированных на платинированных подложках кремния и ситалла. ... 74
3.3.1. Исследования островковых пленок, сформированных на платинированной кремниевой подложке............................................................ 74
3.3.2. Структурный анализ островковых пленок, сформированных на платинированной ситалловой подложке ............................................................ 76
3.3.3. Анализ картин электронного каналирования в перовските ЦТС .......... 83
Выводы: ...................................................................................................................... 86
Глава 4. Диэлектрические и пьезоэлектрические свойства тонких сферолитовых пленок ЦТС .................................................................................................................... 87
4.1 Диэлектрические и пьезоэлектрические свойства блочных сферолитовых пленок ЦТС ................................................................................................................ 87
4.2 Пьезоэлектрический отклик островковых сферолитовых пленок ЦТС ........ 98
Выводы: .................................................................................................................... 105
Список основных публикаций по теме диссертации .............................................. 106
Список условных обозначений и сокращений ......................................................... 108
Список использованных источников ........................................................................ 111
