Введение
1. Микроструктурированные материалы 11
1.1 Микроструктурированные материалы в современной науке и технике 11
1.2 Методы создания тонких пленок 15
1.3 Импульсное лазерное осаждение тонких пленок 17
1.3.1 Материалы для получения пленок методом ИЛО . . . 17
1.3.2 Лазерные источники для ИЛО 18
1.4 Халькогенидные стеклообразные тонкие пленки 21
1.5 Фотоиндуцированные изменения в тонкопленочных структурах ХГС 23
1.6 Кристаллические плепки ІлІЧЬОз 27
1.7 Выводы 31
2 Экспериментальные установки 33
2.1 Экспериментальная установка по импульсному лазерному осаждению 33
2.1.1 Оптическая схема установки по импульсному лазерному осаждению 33
2.1.2 Вакуумная схема установки по импульсному лазерному осаждению 35
2.2 Методы и оборудование по исследованию структуры 36
2.2.1 Комбинационное рассеяние света 36
2.2.2 Рентгеновская дифрактометрия 41
2.3 Методы и оборудование по исследованию оптических свойств 42
2.3.1 Спектроскопия поглощения и отражения 42
2.3.2 Измерение показателя преломления 44
2.4 Выводы 48
3. Импульсное лазерное осаждение стеклообразных пленок 50
3.1 Исследование свойств мишени состава 15(Ga2S3) - 85(GeS2) для импульсного лазерного осаждения 50
3.2 Импульсное лазерное осаждение стеклообразных халькоге-
нидных пленок 52
3.2.1 Образование дефектов в пленках при импульсном лазерном осаждении 53
3.2.2 Исследование структуры халькогенидных стеклообразных пленок 57
3.2.3 Оптические свойства халькогенидных пленок 61
3.2.4 Фотоиндуцированные изменения в пленках ХГС ... 64
3.3 Выводы 70
4. Импульсное лазерное осаждение кристаллических пленок 72
4.1 Исследование свойств мишени состава для импульс ного лазерного осаждения 72
4.2 Импульсное лазерное осаждение LiNbOg:Fe тонких пленок . 75
4.2.1 Напыление на аморфную SiC>2 подложку 75
4.2.2 Напыление на Si (111) подложку 77
4.3 Выводы 84
Основные результаты и выводы 85
Литература 91
