Введение
1. Гетерогенные реакции с участием хлоридов металлов и воды с гидроксилированной поверхностью плёнки оксида металла 11
1.1. Введение к главе 1 11
1.2. Расчёт параметров реакций из первых принципов основных элементарных стадий идущих при осаждении плёнок м02 14
1.3. Анализ реакций элементарных стадий осаждения 23
1.3.1 элементарные процессы и микрокинетика 23
1.3.2 оценка времени химической трансформации мсц 29
1.3.3 оценка времени релаксации энергии молекулы мсц 33
1.4. Расчёт макроскопических констант скоростей элементарных реакций .ао
1.5. Выводы кглаве 1 44
2. Диффузия молекулы по поверхности при реакции адсорбции 46
2.1. Введение к главе 2 46
2.2. Микрокинетика и макроскопические константы скорости с учетом диффузии адсорбируемой молекулы по поверхности 48
2.3. Приближенное решение уравнения для нахождения функции Распределения продукта по поверхностным центрам 60
2.4. Выводы к главе 2 ...:... 68
3. Механизм и кинетика роста тонкой плёнки оксида циркония и гафния методом осаждения атомных слоёв .69
3.1. Введение к главе 3 69
3.2. Формальное кинетическое моделирование 75
3.3. Модель ald реактора при формальном кинетическом моделировании . 79
3.4. Результаты формального кинетического моделирования. 85
3.5. Расширение кинетической схемы минимального механизма 93
3.6. Выводы к главе 3 . 98
4. Атомистическое моделирование механизма и кинетики роста плёнки оксида металла 100
4.1. Введение к главе 4 100
4.2. Модель атомистического моделирования роста плёнки оксида металла. 101
4.3. А томистическое моделирование начального роста плёнки оксида циркония на поверхности кремния (100) 105
4.4. Атомистическое моделирование роста плёнки оксида циркония. 110
4.5. Выводы к главе 4 117
Основные результаты и выводы 118
Литература
