Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе
Рычков Дмитрий Сергеевич. Модель разряда в источнике плазмы магнетронной распылительной системы на постоянном токе : Дис. ... канд. техн. наук : 01.04.04 : Томск, 2004 148 c. РГБ ОД, 61:04-5/3050