Модели синтеза устройств ориентации полупроводниковых пластин в условиях воздействия встречных газовых потоков
Назина, Л.И.. Модели синтеза устройств ориентации полупроводниковых пластин в условиях воздействия встречных газовых потоков : автореферат дис. ... кандидата технических наук : 05.13.16.- Воронеж, 2000.- 26 с.: ил.