Введение
1. Виды покрытий и способы их получения 9
1.1. Назначение покрытий 9
1.2. Современные технологии нанесения покрытий 12
1.3. Физические процессы, сопровождающие рост покрытий в плазменных технологиях 15
1.4. Моделирование теплофизических процессов в плазменных технологиях осаждения покрытий 21
1.5. Связанные процессы тепло- и массопереноса в деформируемых средах 29
1.6. Заключение 41
2. Общая постановка проблемы 43
2.1. Примеры принципиальных схем осаждения покрытий из плазмы 43
2.2. Математическая модель роста покрытия на поверхности цилиндрического образца 44
2.3. Физические параметры 50
2.4. Частные варианты модели 53
2.5. Алгоритм численного решения 55
2.6. Заключение 60
3. Кинетическая модель роста покрытия 62
3.1. Упрощающие предположения 62
3.2. Метод численного решения и параметры 67
3.3. Предварительные результаты 69
3.4. Безразмерные переменные 73
3.5. Учет стадии адсорбции 75
3.6. Заключение 78
4. Кинетика формирования фазового состава растущего покрытия с учетом перекрестных явлений
4.1. Простейшая модель формирования покрытия на детали цилиндрической формы 80
4.1.1. Особенности модели 80
4.1.2. Проверка на сходимость 81
4.1.3. Результаты расчета 83
4.2. Модель, учитывающая перекрестные диффузионные потоки 88
4.2.1. Особенности в постановке задачи 88
4.2.2 Проверка на сходимость 89
4.2.3. Результаты расчета 90
4.3. Модель, учитывающая термодиффузию и диффузионную теплопроводность 94
4.3.1. Особенности модели 94
4.3.2. Проверка сходимости 95
4.3.3. Результаты расчетов 95
4.4. Заключение 106
5. Роль механических напряжений в кинетике роста покрытия на поверхности цилиндрического образца 107
5.1. Причины появления напряжений в растущем покрытии 107
5.2. Задача о равновесии цилиндрического образца в условиях эксперимента ПО
5.3. Полностью связанная модель 116
5.3.1. Изменение коэффициентов переноса 116
5.3.2 Проверка на сходимость 117
5.3.3. Расчеты для полностью связанной модели 118
5.4. Сравнение результатов расчета для связанной и несвязанной моделей. 125
5.5. Заключение 131
Основные результаты и выводы 132
Список литературы
