Введение
1. Анализ подходов к формированию структуры модульно-кластерных комплексов реализации технологии фотолитографии 9
1.1 Особенности технологического процесса фотолитографии 9
1.2 Специфика кластерной компоновки роботизированных комплексов в электронной промышленности 24
1.3 Математические модели модульно-кластерных комплексов фотолитографии 30
1.4 Цели работы и задачи исследования 35
2. Математические модели системы управления комплексом фотолитографии 3 8
2.1 Структурная модель системы управления технологическим модулем 38
2.2 Математическая модель системы управления механизмом перемещения в составе РТК 44
2.3 Математическая модель манипулятора с учетом динамики исполнительных приводов 58
2.4 Критерии планирования траектории движения схвата робота и анализ области практической устойчивости робототехнической системы 65
Выводы 73
3. Алгоритмизация управления комплексом фотолитографии 15
3.1 Алгоритмы управления роботом в составе комплекса фотолитографии 75
3.2 Алгоритмы управления технологическими модулями 81
3.3 Критерии выбора элементов системы управления 83 Выводы 90
4. Практическая реализация моделей и алгоритмов и экспериментальное исследование системы управления комплексом фотолитографии 93
4.1 Исследование системы управления комплексом фотолитографии 93
4.2 Математическое моделирование программных траекторий движения робота с учетом динамики исполнительных приводов робота-перегрузчика 95
4.3 Структура системы управления кластером фотолитографии «Лада-200Кфл» 108
Заключение 126
Список литературы 128
Приложения 135
