Моделирование и исследование технологии получения мультикристаллического кремния в индукционной печи с холодным тиглем
Кичигин, Вячеслав Владимирович. Моделирование и исследование технологии получения мультикристаллического кремния в индукционной печи с холодным тиглем : диссертация ... кандидата технических наук : 05.09.10 / Кичигин Вячеслав Владимирович; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)].- Санкт-Петербург, 2011.- 128 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/980
