Моделирование и оптимизация параметров технологических процессов химического осаждения тонких пленок из газовой фазы в производстве приборов электронной техники
Каратунов Юрий Владимирович. Моделирование и оптимизация параметров технологических процессов химического осаждения тонких пленок из газовой фазы в производстве приборов электронной техники : Дис. ... канд. техн. наук : 05.27.06 : Москва, 2003 106 c. РГБ ОД, 61:04-5/1437