Введение
ГЛАВА 1. Обзор литературы.
1.1.1. Теоретические основы магнетронного распыления 7
1.1.2. Характеристики разрядного промежутка МРС 12
1.1.3. Зондовые методы исследования магнетронного разряда 15
1.1.4. Вольт-амперные характеристики магнетронного разряда 20
1.1.5. Моделирование магнетронного разряда 23
1.1.6. Моделирование потоков распыленного вещества 30
1.1.7. Магнетронное распыление в присутствии реактивного газа 32
1.1.8. Заключение 34
1.2.1. Свойства двуокиси титана 36
1.2.2. Электрические свойства двуокиси титана 38
1.2.3. Исследования тонких пленок ТЮ2 40
ГЛАВА 2. Методическая часть.
2.1. Описание экспериментальной установки магнетронного распыления 48
2.2. Зондовое измерение параметров плазмы магнетронного разряда 52
2.3. Конструкция зонда и математическая обработка зондовых характеристик 56
2.4. Моделирование распределения параметров электронной компоненты в разряде МРС 59
2.5. Алгоритм моделирования разряда в МРС 62
2.6. Измерение толщины диэлектрических пленок 64
2.7. Измерение диэлектрических и пьезоэлектрических параметров пленок ТЮ2, осажденных на сегнетоэлектрическую подложку 66
2.8. Оценка погрешности основных измерений и расчетов 68
ГЛАВА 3. Физические параметры и кинетика процессов в плазме магнетронного разряда .
3.1. Зондовые исследования плазмы МРС 70
3.2. Моделирование концентраций Ar 4s и Аг 4р состояний в плазме аргона ...82
3.3. Моделирование скорости образования ионов Аг+ 87
3.4. Расчет концентрации атомарного дейтерия 90
ГЛАВА 4. Процессы образования и свойства получаемых в магнетронном разряде .
4.1. Получение пленок ТЮ2 101
4.2. Исследование пьезоэлектрических эффектов в пленках ТЮ2 104
4.3. Исследование диэлектрических свойств пленок ТЮ2 106
Выводы 109
Литература 110
