Моделирование многостадийного термического окисления кремния и образования фиксированного заряда
Дусь, Андрей Игоревич. Моделирование многостадийного термического окисления кремния и образования фиксированного заряда : диссертация ... кандидата физико-математических наук : 01.04.10 / Дусь Андрей Игоревич; [Место защиты: С.-Петерб. гос. электротехн. ун-т (ЛЭТИ)].- Санкт-Петербург, 2010.- 116 с.: ил. РГБ ОД, 61 11-1/171