Введение
1. Обзор экспериментальных и теоретических методов исследования начальных стадий образования плёнок и возможных фазовых переходов в них
1.1 Адсорбция как начальный этап конденсации плёнок. Теоретическое исследование адсорбции 14
1.2 Обзор экспериментальных и теоретических результатов по изучению начальных стадий формирования тонких плёнок 18
1.3 Теоретический и экспериментальный обзор фазовых переходов в плёнках на подложках 25
1.4 Экспериментальное изучение структуры монослойных покрытий 34
2. Математическое моделирование начальных стадий формирования тонкоплёночных структур
2.1 Квантово-статистическая модель начальных стадий роста плёнки на кристаллической подложке 49
2.2 Динамика образования плёнок и релаксационные процессы 57
2.3 Оценка вкладов квантовых эффектов в определение энергии активации 60
3. Построение фазовых диаграмм. сравнение с экспери ментом
3.1 Расчёт спинодалей появления соразмерных тонкоплёночных структур на подложках 64
3.2 Исследование концентрационной зависимости энергии активации десорбции 68
3.3 Исследование температурной зависимости энергии активации десорбции 74
4. Моделирование структурных фазовых переходов в плёнках
4.1 Построение модели структурных фазовых переходов типа упорядочение в плёнках 83
4.2 Расчёт особенностей термодинамических характеристик плёнки в модели {ф3ф4} 91
4.3 Моделирование структурных фазовых переходов в плёнках редкоземельных металлов на поверхности кремния 103
Основные результаты и выводы 112
