Введение
ГЛАВА 1. Обзорно-аналитическое исследование в области автоматизированного проектирования устройств оборудования для процесса формирования объектов в иммерсионной ультрафиолетовой литографии 14
1.1. Тенденции развития литографии при изготовлении топологии объекта с элементами, меньшими длины волны экспонируемого излучения 14
1.2. Применение метода иммерсии в ультрафиолетовой литографии 26
1.3. Методы машинного моделирования в иммерсионной ультрафиолетовой литографии 34
1.4. Выбор решения коллективом экспертов 40
1.5. Особенности и классификация современных литографических САПР для моделирования процессов ультрафиолетовой литографии 46
Постановка задачи исследования 53
ГЛАВА 2. Теоретический подход к решению задачи создания элементов системы автоматизации проектирования устройств оборудования для процесса формирования объектов в иммерсионной ультрафиолетовой литографии 57
2.1. Концептуальный анализ автоматизации проектирования устройств в иммерсионной ультрафиолетовой литографии 57
2.2. Задача синтеза объекта проектирования в иммерсионной ультрафиолетовой литографии 63 2.3. Непараметрическая статистика в задачах моделирования технико-технологических систем ультрафиолетовой литографии 67
2.4. Асимптотическая оценка применяемых ядер методом Лапласа 73
2.5. Общая задача математического программирования в иммерсионной ультрафиолетовой литографии 78
Выводы по главе 2 85
ГЛАВА 3. Методика выбора рационального варианта технического решения устройств оборудования для процесса формирования объктов в иммерсионной ультрафиолетовой литографии 87
3.1. Повышение качества ультрафиолетового светового потока в иммерсионной ультрафиолетовой литографии 87
3.2. Модель морфологической коррекции в ультрафиолетовой литографической технологии 91
3.3. Задача оптимизации объекта проектирования в иммерсионной ультрафиолетовой литографии 97
3.4. Обобщенный критерий оценки качества устройств иммерсионной ультрафиолетовой литографии 103
3.5. Синтез оптимального управления процессами обработки информации в ходе формирования САПР ультрафиолетовой литографии 110
Выводы по главе 3 121
ГЛАВА 4. Синтез алгоритмов поиска технических решений устройств оборудования для иммерсионной ультрафиолетовой литографии 123
4.1. Специфика морфологического анализа-синтеза при выборе технических решений устройств ультрафиолетовой литографии 123
4.2. Решение задачи оптимизации технологического процесса при создании объектов в иммерсионной ультрафиолетовой литографии 132
4.3. Алгоритм выбора технического решения в иммерсионной ультрафиолетовой литографии 137
4.4. Устройства для выполнения УФ-литографических операций 146
4.5. Применение литографических технологий в биомедицинских исследованиях на клеточно-молекулярном уровне 155
Выводы по главе 4 163
Заключение 165
Список литературы 167
