Моделирование процесса пленкообразования на стадиях предварительной разработки оборудования электронной техники
Прусаков Евгений Викторович. Моделирование процесса пленкообразования на стадиях предварительной разработки оборудования электронной техники : диссертация ... кандидата технических наук : 05.27.06.- Москва, 2001.- 145 с.: ил. РГБ ОД, 61 02-5/1500-1