Введение
ГЛАВА 1. Структурные, термодинамические свойств а пористого кремния и его поверхности (обзор литературы) 16
1.1 Экспериментальные методы исследования структуры пористого кремния 16
1.2 Фрактальные свойства пористого кремния 23
1.3 Существующие модели образования пористого кремния 28
1.3.1. Химические процессы при образовании ПК 28
1.3.2. Распределение потенциала в системе Si/HF и условия образования пор 32
1.3.3. Модель Смита образования пористого кремния 37
1.3.4. Модель Беали 38
1.3.5. Модель Леманна образования макропор 39
1.3.6. Квантовая модель образования пористого кремния 45
1.4 Численное моделирование образования пористого кремния ., 47
1.5 Кинетика фазовых переходов в наноструктурах 50
1.5.1. Статистическая теория кристаллизации 50
1.6 Свойства поверхности пористого кремния 56
ГЛАВА 2. Моделирование образования пористого кремния 60
2.1 Модель образования пористого кремния 60
2.1.1. Сильно легированный кремний р-типа 60
2.1.2. Слабо легированный кремний р-типа 66
2.2 Результаты численного моделирования на двумерной сетке. 67
2.3 Результаты численного моделирования на трехмерной сетке 69
2.4 Распределение пористости по глубине пористого слоя 69
2.5 Вычисление фрактальной размерности структур пористого кремния
Выводы к главе 2 79
ГЛАВА 3. Фазовые переходы в пористом кремнии 80
3.1 Кинетика твердофазной кристаллизации пористого аморфного кремния 80
3.2 Термодинамика плавления пористого аморфного и кристаллического кремния 84
Выводы к главе 3 88
ГЛАВА 4. Гомоэпитаксия на пористых слоях кремния 89
4.1 Рост эпитаксиальных пленок на слоях пористого кремния 89
4.2 Подходы к моделированию эпитаксии кремния на пористом кремнии 90
4.3 Обобщение моделей Гилмера и Введенского на трехмерный случай 91
4.4 Особенности вычислительного алгоритма 93
4.5 Механизм формирования тонкого нависающего слоя 95
4.6 Морфология поверхности эпитаксиального слоя 108
Выводы к главе 4 120
Основные выводы по диссертации 121
Заключение 124
Литература 1
