Моделирование роста диэлектрической пленки ZrO2 (HfO2) и изучение электрических свойств границы раздела диэлектрик-металл
Искандарова Инна Марсовна. Моделирование роста диэлектрической пленки ZrO2 (HfO2) и изучение электрических свойств границы раздела диэлектрик-металл : дис. ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 Москва, 2006 135 с. РГБ ОД, 61:07-1/464