Моделирование технологического процесса магнетронного распыления, обеспечивающего заданные физико-механические свойства нанокомпозитных покрытий металлорежущего инструмента

Сергеев, Александр Евгеньевич. Моделирование технологического процесса магнетронного распыления, обеспечивающего заданные физико-механические свойства нанокомпозитных покрытий металлорежущего инструмента : диссертация ... кандидата технических наук : 05.02.07 / Сергеев Александр Евгеньевич; [Место защиты: Рыбин. гос. авиац. техн. ун-т им. П.А. Соловьёва].- Рыбинск, 2012.- 196 с.: ил. РГБ ОД, 61 12-5/2916