Введение
Глава 1. Обзор литературы 4
1.1. Схема устройств, работающих на индуктивном ВЧ разряде 15
1.1.1.Устройства, работающие на индуктивном ВЧ разряде без магнитного поля 15
1.1.2. Устройства, работающие на индуктивном ВЧ разряде, помещенном во внешнее магнитное поле 17
1.2. Индуктивный ВЧ разряд без внешнего магнитного поля 21
1.2.1. Проникновение ВЧ полей в плазму 21
1.2.2. Поглощение ВЧ мощности плазмой 26
1.2.3. Моделирование индуктивного ВЧ разряда без магнитного поля 30
1.3. Индуктивный ВЧ разряд в магнитном поле, близком к электронному циклотронному резонансу 33
1.3.1. Проникновение полей в плазму и исследование поглощения 33
1.4. Индуктивный ВЧ разряд в магнитном поле, способствующем возбуждению геликонов
волн Трайвелписа-Голда 35
1.4.1. Проникновение ВЧ полей в плазму и анализ механизма поглощения ВЧ мощности 35
Глава 2. Несамосогласованная модель ВЧ источников плазмы 45
2.1. Понятие эквивалентного сопротивления 45
2. 2. Несамосогласованная модель ВЧ источников плазмы без внешнего магнитного поля 46
2.2.1. Типичная конструкция ВЧ источников плазмы 46
2.2.2. Типичные параметры плазмы 47
2.2.3. Источники плазмы без магнитного поля, возбуждаемые верхней спиральной антенной 48
2,2.3.1. Результаты численных расчетов 52
2.2.4. Источник плазмы без магнитного поля, возбуждаемый боковой спиральной антенной 57
2. 3. Несамосогласованная модель ВЧ источников плазмы с внешним магнитным полем 60
2.3.1. Циклотронный источник плазмы 60
2.3.1.1. Результаты численных расчетов 61
2.3.2. Геликонные источники плазмы 65
2.3.2.1. Геликонное приближение 68
2.3.2.2. "Точное" решение 71
2.3.2.3. Результаты численных расчетов 73
Выводы 86
2.4. Сравнение эффективности поглощения ВЧ мощности плазмой индуктивного разряда при различных значениях индукции внешнего магнитного поля 87
Глава 3. Самосогласованная модель индуктивного ВЧ источника плазмы низкого давления 88
3.1. Простая физическая модель индуктивного ВЧ разряда низкого давления 89
3.2. Результаты расчетов параметров плазмы с помощью простой физической модели индуктивного ВЧ разряда 92
3.3. Формулировка самосогласовнной модели разряда в индуктивном ВЧ источнике ионов 95
Глава 4. Математическое моделирование работы источников ионов с целью их оптимизации 106
4.1. Параметры, влияющие на эффективность работы источника ионов, и методика расчетов 106
4.2. Результаты расчетов 107
Выводы 114
Благодарности 116
Список литературы 117
Список публикаций по теме диссертации 122
